電子超純水設(shè)備
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電子超純水設(shè)備
電子行業(yè)超純水設(shè)備制水工藝:
1(雙級反參透)加EDI(電脫鹽),核子級混床以及除TOC及紫外線出水指標(biāo)一般均達(dá)到18MO-CM以上。
2.反參透(1級或2級反參透)加EDI(電脫鹽),此工藝最大的優(yōu)點(diǎn)是操作簡單,無需樹脂再生工藝,且出水指標(biāo)一般均達(dá)到15MO-CM以上。
超純水設(shè)備制水工藝流程圖:
電子行業(yè)超純水設(shè)備技術(shù)特征:
※制取電子級超純水
※可連續(xù)自動生產(chǎn),不必停機(jī)再生
※出水水質(zhì)優(yōu)于常規(guī)離子交換法
※不需酸堿再生,不污染環(huán)境
※運(yùn)行成本低,占地面積小
進(jìn)水水質(zhì)要求:
※鐵離子: < 0.01mg/L
※游離氯: < 0.5mg/L
※硬度: < 1.0mg/L
※活性SiO2: < 0.5mg/L
※總有機(jī)碳: < 0.5mg/L
※PH: 5.0-9.0
電子行業(yè)超純水設(shè)備性能指標(biāo):
※出水電阻率: 10-18MΩ.cm
※SiO2: <10 ppb
※Na+: <10 ppb
※脫鹽率: >99.5%
※單臺產(chǎn)水量: 1-450 m3/h
電子行業(yè)超純水設(shè)備應(yīng)用范圍:
※電力、石化及冶金行業(yè)的水處理除鹽
※電子行業(yè)超純水的制取
※醫(yī)藥行業(yè)超純水的制取
電子行業(yè)(特別是微電子行業(yè))純水需求量大,其特點(diǎn)是水質(zhì)要求較高.
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